? 產(chǎn)品介紹：
澤攸科技JS系列臺(tái)階儀作為國產(chǎn)高精度表面測(cè)量設(shè)備的代表，憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場(chǎng)景及可靠的測(cè)量性能，可以對(duì)微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺(tái)階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量，在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。
JS系列臺(tái)階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描，將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，結(jié)合高靈敏度傳感器與信號(hào)處理算法，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng)，通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力，既避免了對(duì)軟質(zhì)材料的損傷，又確保了測(cè)量過程的穩(wěn)定性。此外，設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時(shí)成像系統(tǒng)，可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖端的位置關(guān)系，輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu)，顯著提升測(cè)量效率。
作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果，JS系列臺(tái)階儀打破了國外品牌在高端表面測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷，憑借高性價(jià)比與本地化服務(wù)優(yōu)勢(shì)，成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。
? 特點(diǎn)：
量測(cè)精確、操作便捷、體積小巧、超高性價(jià)比
? 應(yīng)用范圍：
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量
▲ 各式薄膜等應(yīng)力測(cè)量
? 技術(shù)參數(shù)
技術(shù)指標(biāo) | JS10C |
樣品厚度 | ≤50mm |
樣品尺寸 | 6寸 |
重復(fù)性測(cè)量偏差 | ≤0.5nm(1o lum標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次) |
最大測(cè)量范圍 | 160um |
探針加力范圍 | 0.5~50mg |
力控制 | 恒定 |
采樣速度 | 200Hz |
最大掃描長度 | 55mm |
掃描最大采集點(diǎn)數(shù) | 200萬點(diǎn) |
掃描速度 | 5um/s-1000um/s |
樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式 | 可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ)手動(dòng)控制 |
XY樣品臺(tái)行程 | 150mm |
樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) | ±360° |
標(biāo)準(zhǔn)探針 | 曲率半徑≥2um角度60°(標(biāo)配) |
亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60° |
軟件功能 | 臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度測(cè)量 |
主機(jī)外形尺寸 | 500mm*500mm*400mm |
樣品臺(tái)尺寸： | 170mm（比6寸大20mm) |
掃描方向 | 左右雙向 |
氣浮臺(tái)形式： | 桌面式（環(huán)境差建議選落地式） |
聚焦方式 | 主動(dòng)聚焦 |
? 軟件界面
? 掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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