芯矽科技文章

• 硅片酸洗過程的化學(xué)原理是什么2025-10-21 14:39

  

  硅片酸洗過程的化學(xué)原理主要基于酸與硅片表面雜質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)，通過特定的酸性溶液溶解或絡(luò)合去除污染物。以下是其核心機制及典型反應(yīng)：氫氟酸（HF）對氧化層的腐蝕作用反應(yīng)機理：HF是唯一能高效蝕刻二氧化硅（SiO?）的試劑，生成揮發(fā)性的四氟化硅和水。若HF過量，則進一步形成六氟合硅酸（H?SiF?）：SiO?+4HF→SiF?↑+2H?OSiO?+6HF→H?S

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• 硅片酸洗單元如何保證清洗效果2025-10-21 14:33

  

  硅片酸洗單元保證清洗效果的核心在于精準控制化學(xué)反應(yīng)過程、優(yōu)化物理作用機制以及實施嚴格的污染防控。以下是具體實現(xiàn)路徑：一、化學(xué)反應(yīng)的精確調(diào)控1.配方動態(tài)適配性根據(jù)硅片表面污染物類型（如金屬雜質(zhì)、天然氧化層或有機殘留物），采用分段式混酸配比策略。例如：針對重金屬污染區(qū)域，局部強化氫氟酸（HF）濃度以加速絡(luò)合反應(yīng)；對厚氧化層區(qū)域則提高硝酸（HNO?）比例增強氧化剝

  大硅片 硅片 酸洗 102瀏覽量

• SC2溶液可以重復(fù)使用嗎2025-10-20 11:21

  

  SC2溶液通常不建議重復(fù)使用，主要原因如下：污染物累積導(dǎo)致效率下降SC2溶液（典型配方為HCl:H?O?:H?O）在清洗過程中會逐漸溶解金屬離子、顆粒物及其他雜質(zhì)。隨著使用次數(shù)增加，溶液中的污染物濃度升高，不僅降低對新硅片的清洗效果，還可能因飽和而析出沉淀，造成二次污染。例如，溶解的銅離子若達到一定濃度后，反而可能重新附著在晶圓表面形成缺陷。過氧化氫分解產(chǎn)物

  晶圓 溶液 136瀏覽量

• 如何選擇合適的SC1溶液來清洗硅片2025-10-20 11:18

  

  選擇合適的SC1溶液清洗硅片需要綜合考慮多個因素，以下是具體的方法和要點：明確污染物類型與污染程度有機物污染為主時：如果硅片表面主要是光刻膠、油脂等有機污染物，應(yīng)適當(dāng)增加過氧化氫（H?O?）的比例。因為H?O?作為強氧化劑，能有效分解有機物分子鏈，將其轉(zhuǎn)化為水溶性物質(zhì)便于清洗。例如，當(dāng)有機物污染嚴重時，可將NH?OH:H?O?:H?O的配比從常規(guī)的1:2:5

  清洗工藝 溶液 117瀏覽量

• 馬蘭戈尼干燥原理如何影響晶圓制造2025-10-15 14:11

  

  馬蘭戈尼干燥原理通過獨特的流體力學(xué)機制顯著提升了晶圓制造過程中的干燥效率與質(zhì)量，但其應(yīng)用也需精準調(diào)控以避免潛在缺陷。以下是該技術(shù)對晶圓制造的具體影響分析：正面影響減少水漬污染與殘留定向回流機制：利用不同液體間的表面張力梯度（如水的表面張力高于異丙醇IPA），使水分在晶圓表面被主動拉回水槽，而非自然晾干或旋轉(zhuǎn)甩干時的隨機分布。這種定向流動有效消除了傳統(tǒng)方法導(dǎo)致

  晶圓制造 檢測系統(tǒng) 143瀏覽量

• 晶圓和芯片哪個更難制造一些2025-10-15 14:04

  

  關(guān)于晶圓和芯片哪個更難制造的問題，實際上兩者都涉及極高的技術(shù)門檻和復(fù)雜的工藝流程，但它們的難點側(cè)重不同。以下是具體分析：晶圓制造的難度核心材料提純與單晶生長超高純度要求：電子級硅需達到99.999999999%（多個“9”）的純度，任何微量雜質(zhì)都會影響半導(dǎo)體特性。從石英砂提煉冶金級硅后，還需通過化學(xué)氣相沉積等工藝進一步提純，這一過程能耗巨大且技術(shù)壁壘高3。例

  晶圓 芯片 187瀏覽量

• 晶圓蝕刻用得到硝酸鈉溶液2025-10-14 13:08

  

  晶圓蝕刻過程中確實可能用到硝酸鈉溶液，但其應(yīng)用場景較為特定且需嚴格控制條件。以下是具體分析：潛在作用機制氧化性輔助清潔：在酸性環(huán)境中（如與氫氟酸或硫酸混合），硝酸鈉釋放的NO??離子可作為強氧化劑，分解有機污染物（如光刻膠殘留物）或金屬腐蝕產(chǎn)物（如銅氧化物）。例如，在類似SC2清洗液體系中，它可能替代部分鹽酸，通過氧化反應(yīng)去除金屬雜質(zhì)；緩沖與pH調(diào)節(jié)：作為緩

  晶圓 晶圓蝕刻 74瀏覽量

• 晶圓清洗過濾的清洗效果如何評估2025-10-14 11:57

  

  晶圓清洗過濾的清洗效果評估是一個多維度、系統(tǒng)性的過程，涉及微觀分析、量化檢測和功能性驗證等多個層面。以下是具體的評估方法和關(guān)鍵指標(biāo)：1.表面顆粒物檢測激光散射法：使用高精度激光粒子計數(shù)器掃描晶圓表面，統(tǒng)計不同尺寸范圍（如≥0.1μm、≥0.2μm）的顆粒數(shù)量與分布密度。該方法能快速定位熱點區(qū)域，反映清洗對微塵、磨料殘留等無機污染物的去除能力。例如，先進制程要

  光刻膠 晶圓 過濾 66瀏覽量

• sc-1和sc-2能洗掉什么雜質(zhì)2025-10-13 11:03

  

  半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中，SC-1與SC-2作為RCA標(biāo)準的核心步驟，分別承擔(dān)著去除有機物/顆粒和金屬離子的關(guān)鍵任務(wù)。二者通過酸堿協(xié)同機制實現(xiàn)污染物的分層剝離，其配方設(shè)計、反應(yīng)原理及工藝參數(shù)直接影響芯片制造良率與電學(xué)性能。本文將深入解析這兩種溶液的作用機理與應(yīng)用要點。以下是關(guān)于SC-1和SC-2兩種清洗液能去除的雜質(zhì)的詳細說明：SC-1（堿性清洗液）顆粒污染物去

  半導(dǎo)體 濕法 257瀏覽量

• sc-1和sc-2可以一起用嗎2025-10-13 10:57

  

  SC-1和SC-2可以一起使用，但需遵循特定的順序和工藝條件。以下是其協(xié)同應(yīng)用的具體說明：分步實施的邏輯基礎(chǔ)SC-1的核心作用：由氨水（NH?OH）、過氧化氫（H?O?）和水組成，主要去除硅片表面的有機物、顆粒污染物及部分金屬雜質(zhì)。其堿性環(huán)境通過腐蝕氧化層使顆粒脫落，并通過靜電排斥防止再吸附；同時H?O?的強氧化性分解有機物；SC-2的補充功能：含鹽酸（HC

  半導(dǎo)體 清洗機 濕法 175瀏覽量