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晨控工業(yè)傳感器RFID在半導體天車搬運FOUP晶圓盒解決方案

gzchenkong2018 ? 來源:gzchenkong2018 ? 作者:gzchenkong2018 ? 2024-10-31 13:54 ? 次閱讀
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目前蘇州某科技公司的半導體天車目前現(xiàn)階段存在問題:

(1)傳統(tǒng)8寸晶圓加工過程中涉及幾十道工序,目前都是采用人工搬運,容易產(chǎn)生污染物導致晶圓損壞,速度也比較慢,不良率很高。

(2)在半導體制造過程中,天車需要與多種設備和工序進行協(xié)同與配合。如果不同工序間的協(xié)同不順暢或配合不緊密,可能導致生產(chǎn)效率下降和產(chǎn)品質(zhì)量問題。

晨控提供的解決方案:

(1)在半導體天車的行車軌道節(jié)點上安裝RFID讀寫器CK-S650-PA60S,當天車搬運FOUP晶圓盒經(jīng)過軌道節(jié)點時自動識別晶圓盒內(nèi)的TI標簽,確保所搬運的晶圓盒信息準確無誤。

(2)FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標簽,記錄了晶圓芯片的所有信息,如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等,在搬運過程中,RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統(tǒng)。這樣管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況,并在必要時進行干預或調(diào)整,從而提高整體的工作效率。

(3)天車在封閉的軌道內(nèi)運行,可以大大減少晶圓暴露在外界環(huán)境中的風險,從而有效避免污染問題,提高產(chǎn)品的良率。

晨控CK-S650系列讀寫器特點

●讀寫器采用高強度的鋁合金外殼,具有識別速度快、準確率高、識別距離適中、組網(wǎng)方便等特點,能完全平替歐姆龍V640系列產(chǎn)品。

●豐富的接口和協(xié)議:RS232/RS485/以太網(wǎng)、支持標準工業(yè)半導體HSMS、ModbusTCP協(xié)議,同時還支持1和N協(xié)議。

●操作方便:設備外置了三個模式開關(guān)選擇器,方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議,用戶只需通過RS232/RS485/以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標簽的讀取操作,無需理解復雜的射頻通信協(xié)議。

審核編輯 黃宇

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