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諧振式微機(jī)械加速度計直接輸出頻率信號，具有穩(wěn)定性好、精度高的特點。分析了諧振式微機(jī)械加速度計的工作機(jī)
理，建立了第一級敏感結(jié)構(gòu)、杠桿機(jī)構(gòu)和第二級敏感結(jié)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型，指出了實現(xiàn)高靈敏度加速度測量的關(guān)鍵技術(shù)在于支撐
梁、質(zhì)量塊、諧振器和杠桿機(jī)構(gòu)的設(shè)計。提出了一種諧振式微機(jī)械加速度計結(jié)構(gòu)，進(jìn)行了結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計和仿真計算，得出的
性能指標(biāo)：諧振頻率98 858 Hz，Q值673．9，靈敏度24．52 Hz／g,．
理，建立了第一級敏感結(jié)構(gòu)、杠桿機(jī)構(gòu)和第二級敏感結(jié)構(gòu)的數(shù)學(xué)模型，指出了實現(xiàn)高靈敏度加速度測量的關(guān)鍵技術(shù)在于支撐
梁、質(zhì)量塊、諧振器和杠桿機(jī)構(gòu)的設(shè)計。提出了一種諧振式微機(jī)械加速度計結(jié)構(gòu)，進(jìn)行了結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計和仿真計算，得出的
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