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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>半導體技術(shù)論文>TCAD技術(shù)及其在半導體工藝中的應用

      TCAD技術(shù)及其在半導體工藝中的應用

      2011-10-31 | pdf | 351 KB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      ?

      闡述了計算機輔助設計技術(shù)( TCAD) 的應用發(fā)展歷程, 介紹了相關(guān)軟件(TSUPPREM4、MEDICI) 的原理及功能。分別對以改善pn 結(jié)邊緣曲率效應, 提高結(jié)擊穿電壓為目的功率器件結(jié)終端結(jié)構(gòu)———場限環(huán)、場板進行了模擬。以某型號器件的芯片設計生產(chǎn)為實例, 通過工藝與器件電學性能的仿真結(jié)果與最終器件實測結(jié)果進行比較, 展示出TCAD 技術(shù)的特點, 體現(xiàn)了TCAD 技術(shù)對于半導體生產(chǎn)制造的重要作用。
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