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光刻機(jī)是干什么用的

工程師 ? 來源:未知 ? 作者:姚遠(yuǎn)香 ? 2019-03-14 14:12 ? 次閱讀
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首先我們來看一個(gè)最簡(jiǎn)單的電路,就是下面這張圖,里面是一個(gè)電池、一個(gè)開關(guān)、一個(gè)燈泡,用電線連起來之后就是一個(gè)簡(jiǎn)單電路。對(duì)于一個(gè)哪怕沒有上過物理課的人,只要給他材料,簡(jiǎn)單教他一下,他就可以搭建出來這個(gè)電路。

上面這個(gè)是最簡(jiǎn)單的電路,那么我們現(xiàn)在使用的芯片中的電路跟上面這個(gè)最簡(jiǎn)單的電路有什么本質(zhì)的不同嗎?實(shí)際上沒有。當(dāng)我們通過放大鏡一點(diǎn)一點(diǎn)放大芯片中的電路的時(shí)候就會(huì)發(fā)現(xiàn)【如圖所示】,這些電路跟上面的這個(gè)電路沒有什么本質(zhì)的區(qū)別。

為了達(dá)到這個(gè)目的,我們就要提到兩種物質(zhì),金屬和光刻膠。這兩種物質(zhì)有一點(diǎn)特性是相反的:光刻膠是一種膠狀物質(zhì),可以被光線侵蝕掉,但是化學(xué)物質(zhì)沒有辦法侵蝕;金屬是沒法用光線侵蝕,但是化學(xué)物質(zhì)卻可以腐蝕掉它。

所以說,這兩種物質(zhì)還有他們的奇特性質(zhì)讓科學(xué)家找到了靈感:我在金屬表面放上覆蓋上一層光刻膠,然后通過一定形狀的光線去照射,那些被光線照射到的光刻膠就消失了,然后再用化學(xué)物質(zhì)腐蝕,那么電路的形狀不就自動(dòng)出來了嗎?

以上的道理,就是制造芯片的基本原理【如下面的動(dòng)圖所示】。

***是干什么用的

而***的作用,顧名思義,就是“用光來雕刻的機(jī)器”。是用來實(shí)現(xiàn)上面說到的“光線侵蝕光刻膠”的目的的。

所以說,***就是把很大的電路圖,通過透鏡縮小到芯片那么大,然后用光線侵蝕掉光刻膠,達(dá)到自動(dòng)形成電路的目的【如下圖所示】。

***是干什么用的

所***是非常復(fù)雜的機(jī)械,目前最厲害的***生產(chǎn)商就是荷蘭的ASML,他們現(xiàn)在已經(jīng)能夠生產(chǎn)刻出5nm線路的***了——這些機(jī)器的價(jià)格可以達(dá)到可怕的一億美元一臺(tái),甚至于你出得起這個(gè)錢人家還不一定有這個(gè)貨。下面圖就是ASML***中使用的著名光學(xué)儀器生產(chǎn)商蔡司生產(chǎn)的透鏡,從這個(gè)透鏡的復(fù)雜程度上我們就可以看出來***是一種多么精密的儀器了。

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