MEMS慣性器件包括MEMS加速度計和MEMS陀螺儀，前者測量物體的加速度，通過一次積分和二次積分獲得物體的速度和位置。后者測量物體的姿態(tài)角速率，通過積分獲取物體的姿態(tài)角。

作為在工程上廣泛應(yīng)用的測量裝置，MEMS慣性器件的指標(biāo)需要能體現(xiàn)其測量的精度，測量的穩(wěn)定性以及應(yīng)用時對環(huán)境的適應(yīng)性。

致謝：文章參考記憶的抽屜官微。

愛普生六軸慣性測量單元（IMU）

IMU（Inertial Measurement Unit），即慣性測量單元。EPSON/愛普生新推出的M-G370等系列慣性測量單元（IMU）是一種核心參數(shù)達到光纖陀螺儀級別的高精度MEMS三軸陀螺儀/六軸陀螺儀，集成了3個單軸角速度傳感器和3個單軸加速度傳感器，用以同時精確測量三個方向的角速度和加速度變化。

1、M-G370和M-G366區(qū)別如下：

2、M-G370和M-G366可應(yīng)用產(chǎn)品如下：

對于具有FOG*2級性能的M-G370來說，憑借高精度和高穩(wěn)定的測試性能，被廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航和對位置測量精度要求高的領(lǐng)域，如自主駕駛、無人駕駛、導(dǎo)航等領(lǐng)域。

應(yīng)用實例

● 精密農(nóng)業(yè)和建筑機械的自主駕駛和無人控制。

● 無人設(shè)備，如工業(yè)無人機、地面車輛和水下設(shè)備。

● 導(dǎo)航系統(tǒng)(GNSS*9、INS*10、高精度定位儀)。

● 云臺相機和天線穩(wěn)定系統(tǒng)。

● 工業(yè)設(shè)備和車輛的振動、角度和路徑測量。

應(yīng)用一：無人機

應(yīng)用二：自主駕駛

愛普生的陀螺儀傳感器有著優(yōu)越的溫度特性及低噪音特性，推動了各種應(yīng)用領(lǐng)域的進化。例如汽車導(dǎo)航、家用電視游戲機的遙控器、電腦的3D 鼠標(biāo)、自動吸塵機或業(yè)余興趣愛好等。

新一代MEMS IMU型號M-G370長期穩(wěn)定性BIS小于1dph（0.8dph），誤差0.06度/小時。