半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代科技的基石，其技術(shù)的發(fā)展日新月異。半導(dǎo)體器件從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)，每個(gè)環(huán)節(jié)都對(duì)測(cè)試設(shè)備的精度、效率提出了嚴(yán)苛要求。示波器作為關(guān)鍵的測(cè)試測(cè)量儀器，在半導(dǎo)體器件測(cè)試中發(fā)揮著不可或缺的作用。是德科技憑借深厚的技術(shù)積累和持續(xù)的創(chuàng)新，推出了一系列高性能示波器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各個(gè)環(huán)節(jié)，從芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造，到封裝測(cè)試，有效保障了半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與性能。
是德示波器產(chǎn)品特性剖析
卓越的帶寬與采樣率
是德示波器擁有極為出色的帶寬和采樣率。以 UXR0592A 高性能實(shí)時(shí)示波器為例，它能提供高達(dá) 59GHz 的實(shí)時(shí)測(cè)量帶寬和 250Gsa/s 的采樣率。這一特性使其可以精準(zhǔn)捕捉和分析半導(dǎo)體器件中高速變化的信號(hào)，如高速數(shù)字信號(hào)、射頻信號(hào)等。在超寬帶信號(hào)以及射頻信號(hào)的底噪聲、無(wú)雜散動(dòng)態(tài)范圍、諧波失真等參數(shù)的測(cè)量場(chǎng)景中，憑借其高帶寬和采樣率，UXR0592A 能夠精確還原信號(hào)的細(xì)節(jié)，為工程師提供準(zhǔn)確的測(cè)試數(shù)據(jù)。

高精度測(cè)量
是德示波器具備卓越的信號(hào)完整性，擁有更寬帶寬、更高 ENOB（有效位數(shù)）和更低本底噪聲。這些優(yōu)勢(shì)使其在測(cè)量半導(dǎo)體器件的各種電氣參數(shù)時(shí)，能達(dá)到極高的精度。在半導(dǎo)體器件的參數(shù)測(cè)試中，精確的電壓、電流、時(shí)間等參數(shù)測(cè)量，對(duì)于判斷器件是否符合設(shè)計(jì)要求至關(guān)重要。是德示波器的高精度測(cè)量能力，能夠有效減少測(cè)量誤差，為半導(dǎo)體器件的質(zhì)量評(píng)估提供可靠依據(jù)。
多功能分析軟件
是德科技為示波器配套了功能強(qiáng)大的分析軟件。借助矢量信號(hào)分析軟件，示波器可進(jìn)行雷達(dá)參數(shù)綜合分析；利用抖動(dòng)分析軟件，能夠?qū)Τ瑢拵У奶l信號(hào)進(jìn)行分析。這些軟件豐富了示波器的功能，使其不僅能進(jìn)行基本的波形顯示和測(cè)量，還能深入分析復(fù)雜信號(hào)的特性，滿(mǎn)足半導(dǎo)體測(cè)試多樣化的需求。
是德示波器在半導(dǎo)體器件測(cè)試各環(huán)節(jié)的應(yīng)用
芯片設(shè)計(jì)階段
在芯片設(shè)計(jì)過(guò)程中，工程師需要對(duì)電路的性能進(jìn)行反復(fù)驗(yàn)證和調(diào)試。是德示波器憑借其高帶寬、高采樣率和高精度，成為驗(yàn)證芯片設(shè)計(jì)的得力工具。在數(shù)字電路設(shè)計(jì)時(shí)，工程師通過(guò)示波器觀察和分析復(fù)雜的數(shù)字信號(hào)，以調(diào)試電路，優(yōu)化性能。在設(shè)計(jì)高速串行接口時(shí)，借助是德示波器，能夠分析信號(hào)的完整性，包括信號(hào)的反射、串?dāng)_等問(wèn)題，從而確保接口的可靠通信。在模擬電路設(shè)計(jì)中，示波器用于驗(yàn)證電路的性能指標(biāo)，如帶寬、噪聲和失真等。通過(guò)測(cè)量電路的輸出信號(hào)，工程師可以評(píng)估電路是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決設(shè)計(jì)中的問(wèn)題，保障芯片功能的完整性和可靠性。
晶圓制造階段
晶圓制造環(huán)節(jié)對(duì)工藝控制的要求極為嚴(yán)格，任何細(xì)微的偏差都可能影響芯片的性能和良率。是德示波器在晶圓制造過(guò)程中可用于監(jiān)測(cè)和分析各種信號(hào)，為工藝控制提供數(shù)據(jù)支持。在光刻工藝中，通過(guò)對(duì)光刻設(shè)備中的信號(hào)進(jìn)行監(jiān)測(cè)，確保光刻過(guò)程的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。通過(guò)測(cè)量信號(hào)的頻率、相位等參數(shù)，工程師可以判斷設(shè)備是否正常工作，及時(shí)調(diào)整工藝參數(shù)，保證光刻質(zhì)量。在刻蝕、沉積等工藝中，示波器同樣可用于監(jiān)測(cè)相關(guān)設(shè)備的信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潛在問(wèn)題，提高晶圓制造的良率。
芯片封裝測(cè)試階段
芯片封裝后，需要進(jìn)行全面的測(cè)試，以確保其性能符合標(biāo)準(zhǔn)。是德示波器在芯片封裝測(cè)試中發(fā)揮著關(guān)鍵作用，可用于測(cè)量芯片的各種電氣參數(shù)，如輸入輸出特性、時(shí)序關(guān)系等，判斷芯片是否正常工作。在進(jìn)行芯片的可靠性測(cè)試時(shí)，示波器可用于監(jiān)控芯片在不同環(huán)境條件下的性能變化，如溫度、濕度等。通過(guò)長(zhǎng)時(shí)間監(jiān)測(cè)芯片的信號(hào)，能夠發(fā)現(xiàn)潛在的故障，評(píng)估芯片的可靠性。在對(duì)功率半導(dǎo)體器件進(jìn)行雙脈沖測(cè)試時(shí)，示波器可采集雙脈沖波形，并傳輸分析數(shù)據(jù)，得到開(kāi)通時(shí)間、關(guān)斷時(shí)間、開(kāi)關(guān)損耗等關(guān)鍵參數(shù)，為評(píng)估功率半導(dǎo)體器件的性能提供依據(jù)。
是德示波器助力半導(dǎo)體測(cè)試的優(yōu)勢(shì)
提高測(cè)試效率
是德示波器配套的軟件和解決方案，可實(shí)現(xiàn)測(cè)試過(guò)程的自動(dòng)化執(zhí)行，減少人工操作。以 DSOX 系列示波器搭配 PathWave BenchVue 軟件為例，支持遠(yuǎn)程控制和自動(dòng)化測(cè)試腳本，能夠?qū)崿F(xiàn)批量產(chǎn)品的參數(shù)檢測(cè)，大幅提升測(cè)試效率。在產(chǎn)線(xiàn)測(cè)試中，自動(dòng)化測(cè)試功能可以快速完成對(duì)大量芯片的測(cè)試，縮短測(cè)試周期，提高生產(chǎn)效率。
增強(qiáng)數(shù)據(jù)分析能力
是德示波器的軟件和解決方案提供了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析功能。通過(guò)對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)的深入分析，工程師可以快速定位問(wèn)題，找出問(wèn)題的根源，為產(chǎn)品的優(yōu)化和改進(jìn)提供方向。在芯片設(shè)計(jì)階段，數(shù)據(jù)分析功能有助于工程師評(píng)估設(shè)計(jì)方案的合理性，優(yōu)化電路設(shè)計(jì)；在生產(chǎn)階段，數(shù)據(jù)分析能夠幫助企業(yè)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程中的問(wèn)題，改進(jìn)生產(chǎn)工藝，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
靈活配置與可擴(kuò)展性
是德示波器具備靈活的配置和可擴(kuò)展性，能夠滿(mǎn)足不同客戶(hù)的多樣化需求。DSOX 系列示波器帶寬可從 70MHz 升級(jí)至 200MHz，還支持選配串行協(xié)議分析軟件和高級(jí)數(shù)學(xué)運(yùn)算功能，適應(yīng)企業(yè)技術(shù)迭代的需求。這種靈活性使得企業(yè)在不同的發(fā)展階段，都能根據(jù)自身需求配置合適的示波器，降低成本，提高設(shè)備的利用率。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)測(cè)試設(shè)備的要求也日益提高。是德示波器憑借其卓越的性能、豐富的功能以及靈活的配置，在半導(dǎo)體器件測(cè)試的各個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)揮著重要作用，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。未來(lái)，隨著半導(dǎo)體技術(shù)向更高性能、更小尺寸的方向發(fā)展，是德科技有望繼續(xù)創(chuàng)新，推出更先進(jìn)的示波器產(chǎn)品，進(jìn)一步滿(mǎn)足半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域不斷變化的需求，推動(dòng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)進(jìn)步。

審核編輯 黃宇