客戶背景

微電子實驗室是致力于各類半導(dǎo)體芯片研究的重要科研機構(gòu)。對于高端芯片的研發(fā)而言，實驗室內(nèi)部的環(huán)境溫濕度條件至關(guān)重要，因此該實驗室對環(huán)境溫濕度的控制與監(jiān)測提出了極為嚴格的要求。

實驗室溫濕度控制要求

在實驗室里，各類實驗設(shè)備與樣本對溫濕度條件極為敏感。例如，高精度光刻設(shè)備要求溫度波動范圍控制在±1℃，濕度保持在40% - 60%RH，以確保光刻精度不受溫濕度變化的干擾；對于一些特殊的半導(dǎo)體材料樣本，適宜的溫濕度范圍能防止材料特性發(fā)生改變，保障實驗數(shù)據(jù)的準確性和可重復(fù)性。而且，長時間處于不適宜的溫濕度環(huán)境中，實驗設(shè)備的電子元件可能會因受潮或溫度過高而出現(xiàn)性能下降、壽命縮短等問題。因此，實驗室需要一款高精度的溫濕度監(jiān)測產(chǎn)品，保證環(huán)境溫濕度保持在適宜的范圍內(nèi)。

應(yīng)用實施過程

在引入Fluke 961溫濕度記錄儀時，實驗室團隊首先對實驗室的布局和溫濕度監(jiān)測需求進行了詳細規(guī)劃。根據(jù)實驗室的功能分區(qū)和設(shè)備分布情況，在各個關(guān)鍵區(qū)域安裝了溫濕度傳感器，包括實驗操作區(qū)、設(shè)備存放區(qū)、樣本儲存區(qū)等，確保全面覆蓋溫濕度敏感區(qū)域。

產(chǎn)品優(yōu)勢

Fluke 961A可以通過USB接口直接導(dǎo)出PDF報告文件這一功能，極大地提高了數(shù)據(jù)整理和報告生成的效率。以往繁瑣的數(shù)據(jù)記錄和報告編寫工作，現(xiàn)在只需簡單操作即可快速完成，為科研人員節(jié)省了大量時間和精力。

此外，961A的32000組的超大存儲功能也滿足了實驗室長時間連續(xù)監(jiān)測的需求，能夠可靠地保存大量的溫濕度數(shù)據(jù)，無需手動抄錄，保證數(shù)據(jù)完整連貫，為后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和研究提供了堅實的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

F961A溫濕度記錄儀以其便利、快速、準確的特點，為微電子研究所實時分析和掌握實驗室環(huán)境溫濕度提供了有效的數(shù)據(jù)支持，確保了高端芯片研發(fā)工作在穩(wěn)定的環(huán)境條件下順利進行。