MEMS傳感器轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)試設(shè)備
MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。
聯(lián)合儀器MEMS測(cè)試系統(tǒng)UI320采用測(cè)試機(jī)加轉(zhuǎn)臺(tái)的構(gòu)架，是對(duì)MEMS陀螺儀和加速度計(jì)的測(cè)試平臺(tái)?？蓪?duì)MEMS傳感器芯片進(jìn)行測(cè)試，支持I2C/SPI的通訊方式，提供免費(fèi)的開(kāi)源軟件底層API基于C開(kāi)發(fā)，支持VC,VC++，labview等。
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半導(dǎo)體測(cè)試
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MEMS陀螺儀
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