白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測(cè)量干涉條紋的變化，能實(shí)現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進(jìn)行輪廓尺寸分析。

白光干涉儀的形貌測(cè)量，以表面形貌為主，即工件某一個(gè)表面上的微觀形貌：

1、微觀輪廓尺寸測(cè)量：主要是臺(tái)階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級(jí)，在驗(yàn)證上可以與原子力顯微鏡、臺(tái)階儀交叉驗(yàn)證。

2、粗糙度測(cè)量：白光測(cè)量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級(jí)別。面和線粗糙度測(cè)量，最高可確保0.1nm的測(cè)量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm，利用光波干涉原理 將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量，以得出被測(cè)表面粗糙度，可以輕松測(cè)量曲面粗糙度。

針對(duì)葉片類曲面零部件，型號(hào)為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)曲面全自動(dòng)測(cè)量功能，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測(cè)量點(diǎn)分布不在同一個(gè)面、單次測(cè)量效率低的問題。