在制造廠中，開發(fā)、設(shè)計和構(gòu)建一條新的生產(chǎn)線時，計量是很重要的一個環(huán)節(jié)：分析制造過程中的步驟以確定生產(chǎn)如期進行。計量使制造廠能辨別出機器是否能正常工作，也可以幫助描述最終產(chǎn)品的特性，關(guān)于合適的電壓/頻率等。如果晶圓特別差，則可以將其早點丟出這個循環(huán)，從而節(jié)省時間和資金。

和制造過程中其他步驟一樣，計量在工廠中很占時間和空間。為了實現(xiàn)將更好的***移動到EUV這個目標，使其既能有更小的特征，又能加快每個芯片的制造，計量要做的兩個主要任務就是準確的報告和吞吐量。這些機器吞吐量增加意味著給定運行所需機器變少，而且過程節(jié)點步驟之間的延遲可以縮短。

ASML宣布其在多光束檢測工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000將單光束掃描進程優(yōu)化成9光束掃描進程，ASML宣稱在線缺陷檢測應用中，能使工具吞吐量提高600%。該工具適用于目前生產(chǎn)的所有主要進程節(jié)點，包括5nm及更高工藝。

公司解釋道，新的eScan100工具擁有一個電子光學系統(tǒng)，能將初始光束分成許多細光束，同時收集并處理這些次級光束帶來的結(jié)果。這個工具還能將串擾限制在2%以下以保證成像質(zhì)量，并用高速模式增加整體吞吐量，而且新的電腦硬件加速處理次級光束數(shù)據(jù)比以前更快。它還能用于一系列波束電流，既能進行物理缺陷檢查也能進行電壓差別檢查。ASML宣傳的是它擁有一個缺陷檢測能力突出的專有數(shù)據(jù)庫，能檢測出許多傳統(tǒng)計量方法遺漏的缺陷。

據(jù)新聞報道，ASML在一周前已將首款eScan1000系統(tǒng)交給硅谷的一位特定客戶，在客戶現(xiàn)場進行初步測試和認證。但并沒有透露客戶是誰。

ASML期望擴大eScan1000機器的應用范圍以滿足特定客戶的要求，并表示會繼續(xù)開發(fā)能分更多光束和更廣光線分辨率的多光束技術(shù)。得知這個工具的重要性之后，我們有希望在今年晚些時候看到未來行業(yè)活動的產(chǎn)品路線圖。